作者：谢国章 单位：机械工业部仪器仪表综合技术经济研究所;中国仪器仪表行业协会 出版：《中国仪器仪表》1996年第01期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZYQB601.0080 DOC编号：DOCZYQB601.0089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 一种多功能微型电子机械系统谢国章一、引言微型电子机械系统（ＭＥＭＳ）是德国学者于８０年代末提出的概念，意指由微机械与微电子集成所构成的微型结构，具有小型、可靠、性能优越、生产成本低等优点，既有微电子的处理功能，又有微机械的传感与执行功能，是一全智能系..。

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