作者：李玉琴 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1997年第02期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1997020050 DOC编号：DOCGJDX1997020059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 近年来，以使用半导体制造工艺的微小机械的研究为开端，世界各国积极开展微机械的研究。但是各国各有特点，美国以大学为中心开展以静电微电机为代表的硅微机械的基础研究。欧州以法国为中心利用LIGA工艺技术积极进行微传感器和执行机构的开发工作。日本大学，国家研究机构和企业也在积极进行微机械的研究。

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