作者：蔡成波,崔玉国,孙庆龙,薛飞,郑军辉 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2016年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2016020070 DOC编号：DOCNMJM2016020079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了避免应用外部传感器，采用自感知方式实现压电微夹钳的闭环控制.压电微夹钳钳指在电压与外力作用下输出位移并在其表面产生电荷，据此提出了基于电流积分的钳指位移自感知方法；将PID控制器中的矩形积分改为抛物线积分，对偏差的微分改为对输出的微分，设计出了压电微夹钳的改进PID控制器，并将其同自感知反馈方式相结合，设计出了压电微夹钳的自感知反馈控制系统.实验结果表明：在自感知反馈控制作用下，压电微夹钳对5μm阶跃参考位移的响应时间为0.34 s，若不考虑噪声影响，稳态误差几乎为零；在最大位移为14.1μm的任意波形参考位移的作用下，压电微夹钳的自感知反馈控制亦可取得良好的控制效果，其稳态误差中线在-0.06~0.05μm之间变化。

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