作者:周浩敏,刘广玉,魏鸿然,邹航 单位:北京长城航空测控技术研究所 出版:《测控技术》1997年第01期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFIKJS1997010070 DOC编号:DOCIKJS1997010079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《关于谐振式硅微结构压力传感器的综合研究》PDF+DOC2015年第06期 肖兵兵,王奇帅,赵鹏辉,罗坤 《硅谐振梁式压力传感器模拟计算》PDF+DOC1999年第01期 樊尚春,刘广玉 《光激励微型硅谐振器研究》PDF+DOC1998年第05期 高金山,王家桢,童诗白 《微结构片外弯曲测试装置及试样设计》PDF+DOC2016年第02期 冯永平,罗华云 《光纤布拉格光栅应力传感技术研究与应用》PDF+DOC2017年第01期 胡正文,焦莉平,庞成鑫,桑杰,程冯宇 《微结构谐振梁式压力传感器研究》PDF+DOC2000年第04期 陈德勇,崔大付,王利,韩泾鸿 《光学摆》PDF+DOC1998年第03期 张开逊 《微机械加工的微结构型电化学传感器》PDF+DOC 周仲柏 《美国新型传感器发展情况》PDF+DOC1991年第05期 宋宗炎 《热激励硅谐振式压力传感器温度场的有限元计算》PDF+DOC2002年第S2期 樊尚春,邢维巍,贾振宏
  • 全光纤-谐振传感技术是80年代中期出现的一种新型传感技术。由于它兼有光纤、谐振传感技术和硅微结构的优点,因而被认为在航空、过程控制和医学等领域尤其具有重要的应用价值。硅微细加工工艺、光学激振和拾振是这一技术研制中的三个关键问题。本文将就方形硅膜片光学激振和拾振的原理进行探讨和分析。

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