作者:陈德勇,崔大付,王利,韩泾鸿 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2000年第04期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2000040030 DOC编号:DOCCGJS2000040039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 利用微电子机械加工技术成功地研制出电势激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器 .传感器的谐振器的品质因素 Q值大于 170 0 0 .采用扫描检测方式和闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性 ,其压力测试范围为 0~ 40 0 k Pa,线性相关系数为0 .99995 ,测试精度小于 0 .0 6 % F.S。

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