作者：陈德英,唐国洪 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1999年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS902.0030 DOC编号：DOCYBJS902.0039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《台阶阵列阴极真空微电子压力传感器研究》PDF+DOC1996年第03期 夏善红,崔大付,韩泾鸿,陈绍凤,王利 《真空微电子传感器进展》PDF+DOC1994年第05期 刘君华 《硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试》PDF+DOC2002年第01期 陈绍凤,夏善红 《新型Spindt阴极阵列磁敏传感器的研究》PDF+DOC2000年第02期 邓宁,朱长纯 《新型真空微电子压力传感器特性研究和实验制作》PDF+DOC1997年第12期 夏善红,刘加,陈绍凤,韩泾鸿,崔大付 《一种新型的锥尖制作方法研究》PDF+DOC2003年第04期 欧益宏,温志渝,周民来 《真空微电子传感器研究及进展》PDF+DOC2001年第04期 夏善红 《阴极-敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究》PDF+DOC2001年第01期 陶新昕,夏善红,苏杰,陈绍凤 《真空微电子学的崛起》PDF+DOC1992年第01期 黄庆安 《一种新型真空微电子压力传感器的研制》PDF+DOC2001年第02期 张正元,徐世六,温志渝,张正璠,黄尚廉

    • 】介绍了真空微电子中金属尖阴极的制备方法。给出了用二氧化硅凹模和硅Ｖ型模制备的金属尖的阴极照片，并比较了各自的特点。

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