《硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试》PDF+DOC
作者：陈绍凤,夏善红
单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;中国物理学会液晶分会;中国光学光电子行业协会液晶分会
出版：《液晶与显示》2002年第01期
页数：5页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFYJYS2002010050
DOC编号：DOCYJYS2002010059
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《一种新型真空微电子压力传感器的研制》PDF+DOC2001年第02期 张正元,徐世六,温志渝,张正璠,黄尚廉
封装、测试了硅尖阵列 -敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器 ，在计算机模拟计算的基础上 ，对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试 ，得出实物测试场发射电流曲线 (开启电压低 ，发射电流曲线与计算机模拟曲线一样 ，电压 45V时发射电流可达到86mA ，平均每个硅尖为 2 1 μA)、压力特性曲线 (呈线性变化 ，与计算机模拟计算的曲线相近 )及灵敏度数据。电压 1 .5V即可测试并且其压力特性成线性变化 ，灵敏度为 0 .3 μA/kPa。
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