《新型Spindt阴极阵列磁敏传感器的研究》PDF+DOC
作者：邓宁,朱长纯
单位：信息部电子46所;天津市电子学会
出版：《半导体杂志》2000年第02期
页数：5页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFBDTZ2000020060
DOC编号：DOCBDTZ2000020069
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提出了一种检测三维磁场的真空微电子磁敏传感器。该传感器采用Spindt阴极阵列作为电子源 ，阳极分为五个区域 ，以便检测发射电子在磁场作用下的偏移。通过不同阴极电压下电子束流的偏移量的差值 ，可求出器件所在位置磁场的三个分量。对传感器的灵敏度和误差进行了模拟计算 ，并研究了它们与阳极电压、阴 阳极间距及阳极电压变化步长的关系。结果表明该传感器的灵敏度约为 80 0 % ，相对误差为 3%。
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