作者：刘理天,谢会开,费圭甫 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1994年第01期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1994010010 DOC编号：DOCYBJS1994010019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍了用于测量微小压力或流速的硅杯型集成传感器。它将敏感元件与信号放大电路以及恒流供电电路都集成在同一芯片内，实现了硅杯型压力传感器的单片集成。该集成传感器有较小的体积和较高的灵敏度，可用于测量小区域内的压力及流速分布情况。

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