作者：周南生,居水荣,宫俊,张文敏 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1994年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1994040100 DOC编号：DOCCGJS1994040109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 灵敏度和非线性是表征硅压阻式压力传感器性能的两个最重要参数，这是压力传感器的设计目标.最初出现的硅压阻式压力传感器都采用圆形均厚膜设计，但由于膜片本身

    📙 相关资料

    1. 《微机械梁膜结构1kPa量程压力传感器》PDF+DOC 采用微机械加工技术可以制作出管芯尺寸小而灵敏度很高的压力传感器。目前微压压力传感器产品的量程已达5～10kPa。本文介绍了采用微机械梁膜结构的压力传感器设计(PT—24)，结合适当的工艺可以制成量程为1kPa的器件。...
    2. 《梁-膜结构微压传感器研制》PDF+DOC 由四个弹性梁和一个刚性中心膜构成的梁-膜结构，具有平面应力集中效应，与一般的结构相比，这种膜片在受到微压时即产生较大的应力集中，使传感器在测量微压时有较高的灵敏度，它的特别的结构能解决一般结构膜片在很薄时由膜应力和弯曲应力产生的严重的非线性。介绍的这种双面腐蚀形成的梁-膜结构的硅压阻式微压传感器的设......
    3. 《采用薄结构膜片的用于生物医学方面的高性能压阻式压力传感器》PDF+DOC 采用薄结构膜片的用于生物医学方面的高性能压阻式压力传感器Ｓ．Ｍａｒｃｏ，等１．引言高性能的硅压阻式压力传感器已广泛应用于工业环境中，然而在生物医学方面，若利用硅压阻式压力传感器进行介入性测量以直接监视被测物，则将在大小尺寸、准确度和灵敏度方面受到严格..。...
    4. 《用于较高压力传感器的膜片设计与分析》PDF+DOC 本文通过分析比较，提出了传统C型硅杯高压力传感器的设计方案及实验结果。...
    5. 《一种新型高精度温度补偿的压力传感器》PDF+DOC 木文介绍了根据晶体管的发射结偏压随温度变化的关系，来代换扩散硅压力传感器中利用扩散电阻进行温度补偿的原理和优越性。...
    6. 《微压传感器膜片的设计与研制中的关键技术》PDF+DOC 本文介绍了正方形膜片微压传感器的结构，分析了其设计思想。并就利用正方形膜片开发的微量程力敏器件的灵敏度作了分析。最后较详细地讨论了微压传感器研制中的关键技术——各向异性腐蚀技术。...
    7. 《微压传感器的研制》PDF+DOC 一、引言 目前国内半导体压阻式的微量程压力传感器生产尚未成型，处于研制阶段，主要存在下列问题：1.机械加工不能制造出膜片极薄的硅杯；2.在膜片极薄的情况下无法控制...
    8. 《硅压力传感器的非线性分析及优化设计》PDF+DOC 分析了硅压力传感器的线性与非线性 ，讨论了非线性产生的原因 ，并提出了硅压力传感器的优化设计方法...
    9. 《压阻式压力传感器零点输出研究》PDF+DOC 使用有限元方法 ，分析了压力传感器力敏电阻条工作时的自身发热对传感器零点输出的影响 ，结果表明 ：由于电阻工作时的发热引起传感器温度分布的不均匀 ，即便组成压力传感器电桥的力敏电阻条参数完全匹配 ，传感器也可能存在零点输出。...
    10. 《一种小量程应变式压力传感器结构设计》PDF+DOC 提出了一种新型的梁膜结构，其体积较小、应力集中效应明显，特别适合作小量程应变式压力传感器。通过有限元分析发现，当膜片厚度与梁厚度为某一比值时，膜片中心应力值最大，而位移量较小，即传感器灵敏度较大，而非线性较小。设计的传感器样品的灵敏度达0.5 mV/V，总精度优于0.1%F.S。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。