《新产品》PDF+DOC
作者：
单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出版：《光机电信息》1995年第03期
页数：4页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFGJDX1995030120
DOC编号：DOCGJDX1995030129
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《基于霍尔编码器的线性位移传感器设计》PDF+DOC2017年第06期 孙晶,石磊
《基于卡尔曼滤波的光电式扭矩传感器研究》PDF+DOC2017年第11期 武立,周云山,张容川
《全光型硅微机械流量传感器初探》PDF+DOC1998年第03期 丁纯,金仲和,喻浩,徐义刚,王跃林
《集成硅微机械光压力传感器的研制工艺》PDF+DOC1996年第S1期 温志渝,钟先信,费龙,胡松
《小型波导传感器单元技术研究》PDF+DOC1996年第S1期 杜春雷,R.E.Kunz,苗景歧,候德胜
《微器件及其集成系统——仪器仪表发展新方向简介》PDF+DOC1993年第01期 杨国光
《国外激光1989年总目录》PDF+DOC1989年第12期
《可识别指纹的系统》PDF+DOC2002年第01期 田禾
《采用体硅制造法的光波导压力传感器的一种初步设计》PDF+DOC2004年第01期 陈志铁
《集成微光机械振动传感器芯片制作工艺研究》PDF+DOC2006年第04期 张平,伦凤艳,王淑荣,高福斌
日本电信电话公司试制出高精度测量马达旋转角和移动量等变位的超小型编码器.该编码器是测量刻有凹凸的圆盘或者与刻尺的相对移动变位量，过去编码器主体尺寸都较大，为几十毫米，而此次试制的微型编码器则远远小于过去的编码器，尺寸小于1mm.它不仅是超小型，而且可获得0.01μm的高分辨率.它将半导体激光器、微小厚膜透镜、两个二极管、一对氟化聚酰亚胺光波导以及90°；相位移动膜等测量上需要的部件全部集成在基板上.在同一基板上同时制作许多编码器，可批量生产.组装到微小执行元件和小型可动装置，可期待应用在微机械上。
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