作者： 单位：浙江省科技情报研究所 出版：《今日科技》2003年第12期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJIRK2003120250 DOC编号：DOCJIRK2003120259 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微电子机械系统》PDF+DOC1995年第10期 王跃林,苏以撒,王文 《新型传感器的发展前景》PDF+DOC2008年第14期 高慧芳 《传感技术的研究现状》PDF+DOC1996年第01期 罗子铉 《微机械传感器计算机辅助设计系统》PDF+DOC1995年第S1期 费龙,钟先信,温志渝,徐涛 《介绍两种国外微结构式传感器》PDF+DOC1995年第01期 刘忠玉,蔡丽梅 《微机电系统技术进展》PDF+DOC2003年第05期 张西慧,梁春广 《MEMS技术的现状和发展趋势》PDF+DOC2001年第01期 刘光辉,亢春梅 《微机电系统的研究与展望》PDF+DOC2011年第03期 陈勇华 《MEMS微电子机械系统与流程工业自动化》PDF+DOC2009年第07期 卞正岗 《微机电系统与微细加工技术》PDF+DOC2007年第03期 侯亚丽,李长河,蔡光起

    • 新型传感器研发的 重点领域 基于MEMS技术的新型微传感 器 微传感器，特别是以MEMS(微 电子机械系统)技术为基础的传感器 已逐步实用化，是今后发展的重点之 一。 微机械设想早在1959年就被提 出，其后逐渐显示出采用MEMS技术 制造各种微型新型传感器、执行器和 微系统的巨大潜力。这项研发在工 业、农业、国防、航空航天、航海、医

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