作者：谢国章 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》1995年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ504.0160 DOC编号：DOCBDTJ504.0169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 从微电子技术诞生的微机械技术，在微电子技术中也有重要应用。本文列举了微流量计、微致动器、光掩模、蒸发掩模等几种典型应用，从中可看出微机械技术对微电子技术向更高水平发展有显著的促进作用。

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