作者：刘虹,刘洁,杨立峰 单位：云南开放大学 出版：《云南开放大学学报》2003年第03期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYNDD2003030160 DOC编号：DOCYNDD2003030169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS是当今迅速发展的一门新兴学科。本文在对MEMS技术进行概述的基础上，列举了MEMS技术的应用，介绍了MEMS技术的发展前景。

    📙 相关资料

    1. 《国内外MEMS器件现状及发展趋势》PDF+DOC 介绍了MEMS器件的发展历史 ，国内外研究和应用现状 ，对国内外差距进行了比较 ，给出了MEMS器件今后的一些发展趋势。同时 ，提出了推进MEMS器件产业化的建议...
    2. 《MEMS传感器的发展现状及应用综述》PDF+DOC 在微电子技术高速发展的大潮中，MEMS(Microelectro-mechanical systems)传感器也得到广泛应用。首先，文章简单介绍MEMS传感器的概念、特点、典型代表。其次，举例阐述其在国内外的最新研究进展、产品及应用情况，包括基本原理、实现功能的先进性。最后，从无源化、材料多样化、微......
    3. 《微机电系统(MEMS)技术及在引信中的应用》PDF+DOC 对微机电系统技术的现状及其发展进行了介绍，并探讨了微机电系统技术在引信中的应用...
    4. 《微系统技术（连载一）─—微系统技术概况》PDF+DOC 简要介绍微系统的含义，主要工艺、发展历史、现状和发展前景。...
    5. 《微机械在微电子技术中的应用》PDF+DOC 从微电子技术诞生的微机械技术，在微电子技术中也有重要应用。本文列举了微流量计、微致动器、光掩模、蒸发掩模等几种典型应用，从中可看出微机械技术对微电子技术向更高水平发展有显著的促进作用。...
    6. 《微机电系统的发展与应用》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程，讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科，着重阐述了器件的具体分类、结构组成、各类器件的具体特点及其在工程技术中的实际应用，并指出其发展趋势及对诸多领域的深远影响。...
    7. 《MEMS技术及应用的新进展》PDF+DOC MEMS是微电子和微机械的集成体 ，目前制备 MEMS的材料和工艺等得到很大发展 ，但其研究理论尚不成熟。本文综述了当前制备 MEMS的几个重要步骤 (即设计、材料选择、加工、封装以及测试 )的发展水平和存在问题 ；并总结了 MEMS应用的最新进展和未来前景...
    8. 《微电子机械系统(MEMS)及其应用的研究》PDF+DOC 微型机电系统技术是一个新兴的技术领域。本文介绍了微电子机械系统 (MEMS)的特点和关键技术 ，讨论了MEMS的应用 ，并阐述了MEMS的发展趋势...
    9. 《MEMS技术发展及其在生物芯片中的应用概述》PDF+DOC 介绍微机电系统(MEMS)的技术发展概况以及MEMS在生物芯片中的应用，并对MEMS在生物芯片中的未来发展趋势进行展望。MEMS的发展极大地推动了生物芯片的发展，建议对MEMS在生物芯片中的应用进行更加系统深入的研究。...
    10. 《微机械加速度计的研究现状综述》PDF+DOC 随着微机械加工技术的不断进步以及微机械加速度计市场占有率的逐步扩大，各种类型的微机械加速度计层出不穷，其中以电容检测式微机械加速度计发展的最为迅速且产业化水平最高，其次是压阻式、压电式、热对流式、隧道电流式、谐振式，以及近年来成为研究热点的光学式加速度计。本文详细阐述了国内外已报道的各种类型微机械加......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。