作者：王健,赵华强,李盛楠,曹正宗 单位：中国电子学会 出版：《》 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFELEW2016191140 DOC编号：DOCELEW2016191149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种高冲击MEMS加速度传感器的仿真与优化》PDF+DOC2015年第05期 侯帅,张振海,林然,张东红,李科杰,柳新宇,张亮,李治清,李剑,许涛,何昫,史秀峰 《C型压力传感器结构偏差对传感器灵敏度的影响》PDF+DOC1996年第09期 丁艳萍,吴坚民,郑殿忠 《一种MEMS压力传感器测试分析》PDF+DOC2017年第02期 李盛楠,王健,赵华强,曹正宗 《压阻式压力传感器C型结构偏差的有限元分析》PDF+DOC1995年第04期 吴坚民,唐祯安,牛德芳 《用半导体力敏元件测量人体内压力的研究》PDF+DOC1991年第02期 董建友,侯承贵,勾振堂 《一种新型高精度温度补偿的压力传感器》PDF+DOC1989年第03期 方凯,王荣 《基于MEMS压力传感器的研究》PDF+DOC2005年第02期 颜鹰,史铁林 《用有限元仿真计算压阻式MEMS压力传感器的输出》PDF+DOC2010年第08期 孙小龙 《牺牲层结构压力传感器技术》PDF+DOC2009年第05期 揣荣岩,郑雁公,刘本伟,王文东,崔林,李新 《MEMS无源无线压力传感器研究》PDF+DOC2013年第11期 刘谨,欧文,高璇

    • MEMS压力传感器具有体积小、灵敏度等优点，发展前景广阔。本文采用工艺模拟软件结合文献设计一种MEMS压力传感器制备方法，制备出符合要求的芯片，明确了仿真设计在MEMS压力传感器工艺设计的可行性。

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