作者:李盛楠,王健,赵华强,曹正宗 单位:成都市计量监督检定测试院 出版:《计量与测试技术》2017年第02期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJLYS2017020010 DOC编号:DOCJLYS2017020019 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • MEMS压力传感器由于体积小使得工艺实现存在一定难度,样品的测试分析十分重要。本文对研制的三批样品进行测试分析,判断失效样品的制造原因,通过改进工艺,制备出符合要求样品,给出达标样品测试结果。

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