作者：王英民,宋登元 单位：重庆市光学机械研究所 出版：《激光杂志》1989年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJGZZ1989050070 DOC编号：DOCJGZZ1989050079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本工作尝试以掺硼乳胶源为扩散源，利用激光诱导扩散新技术，制备硅压力传感器的扩散电阻，探讨了激光诱导扩散的工艺条件，并从理论上讨论了实验结果。实验和分析都表明，使用这种杂质源和新的扩散技术扩散电阻，掺杂浓度均匀、P—N结横向漏电小、加工过程清洁，可以制备出性能良好的传感器的扩散电阻。

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