《一种可在高温条件下工作的压力传感器》PDF+DOC
作者:秦秋石
,刘通
单位:北京长城航空测控技术研究所
出版:《测控技术》1987年第03期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFIKJS1987030020
DOC编号:DOCIKJS1987030029
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《可在高温条件下工作的压力传感器》PDF+DOC1987年第03期 秦秋石,刘通
《半导体高温压力传感器的研究》PDF+DOC1996年第02期 毛赣如,姚素英,曲宏伟,张维新
《高温压力传感器的制造工艺》PDF+DOC1984年第04期 付建才
《高温压力传感器温度特性的改善》PDF+DOC1997年第05期 姚素英,毛赣如,曲宏伟,张维新,张荣
《专利文摘》PDF+DOC1995年第01期
《用于较高压力传感器的膜片设计与分析》PDF+DOC1991年第01期 孙富峰
《激光诱导扩散制备硅压力传感器的扩散电阻》PDF+DOC1989年第05期 王英民,宋登元
《硅压力传感器的非线性分析及优化设计》PDF+DOC2003年第01期 沈桂芬,付世,丁德宏,姚朋军,张宏庆,范军,吕品
《压阻式压力传感器及其应用电路设计》PDF+DOC2002年第05期 才滢,毕鹏
《LTCC高温压力传感器的设计制作和测试》PDF+DOC2013年第04期 李莹
本文介绍了一种可以在高温条件下工作的压力传感器。这种以兰宝石材料为感压膜片的压力传感器,由于其应变电阻是外延在绝缘性能良好的兰宝石材料上的,所以这种传感器耐高温,适合在高温条件下使用。传感器的主要技术指标为,量程0—0.6mPa,0—1.0mPa,使用温度为0—300℃,最高可达465℃。精度优于0.5%F.S。这种传感器已于八六年十二月在沈阳通过部级鉴定。
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