作者:毛赣如,姚素英,曲宏伟,张维新 单位:北京长城航空测控技术研究所 出版:《测控技术》1996年第02期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFIKJS1996020050 DOC编号:DOCIKJS1996020059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 介绍多晶硅压力传感器,由于采用二氧化硅介质膜作应变电阻之间的隔离,因而提高了传感器的工作温度。实验表明,该类传感器具有灵敏度高、精度高、温度特性好、工作温限高等特点。

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