作者：刘广玉,张金驰 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》1986年第03期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB1986030120 DOC编号：DOCYQXB1986030129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《用于压力传感器的石英谐振膜片》PDF+DOC1996年第01期 张祖荫,梁显鉴 《振筒式压力传感器振型跃变的理论分析与实验研究》PDF+DOC1989年第04期 纪树海,王丕增,张梅,徐振庭,刘丽君 《基于多频扫描的硅微谐振压力传感器测试方法》PDF+DOC2017年第10期 程波,苑伟政,任森,王飞 《谐振式传感器的新进展》PDF+DOC1992年第02期 白韶红 《半导体传感器的最近发展》PDF+DOC1981年第03期 徐清发,钱念治 《石英晶体谐振式绝对压力传感器研制》PDF+DOC2008年第01期 潘安宝,闻化,姚东媛,高成臣,谢树海 《电感调频式数字传感器的研究与应用》PDF+DOC2004年第01期 王德盛,李文杰 《以混频器作为信号处理单元的环振式压力传感器》PDF+DOC2003年第04期 张兆华,岳瑞峰,刘理天 《双谐振器敏感结构谐振式传感器》PDF+DOC2006年第11期 樊尚春,蔡晨光,王莹莹,邢维巍 《一种基于谐振原理的微型压力传感器设计》PDF+DOC2014年第02期 林丙涛,李海,蒋昭兴,董宏奎,赵建华,张巧云

    • 本文讨论了用于谐振压力传感器的谐振膜的频率特性。文中导出了谐振膜的非线性运动微分方程式(式中含有弯曲应力、中面张力和浅壳的影响)，并用变分法求得近似解。求得的理论压力-频率特性与实验结果有较好的符合。

    📙 相关资料

    1. 《用于压力传感器的石英谐振膜片》PDF+DOC 叙述了用于压力传感器的石英谐振膜片的原理。介绍了石英谐振膜片的设计和工艺。对这种新型压力敏感元件的性能及有关问题作了讨论。...
    2. 《振筒式压力传感器振型跃变的理论分析与实验研究》PDF+DOC 本文从理论上分析了振筒式压力传感器敏感元件—振筒产生振型跃变的原因，说明了振筒的结构参数对其压力—频率特性的影响，提出了研究振筒振动稳定的实验方法，并给出了实验结果，从而提供了保证传感器输出频率稳定性的设计依据。...
    3. 《基于多频扫描的硅微谐振压力传感器测试方法》PDF+DOC 为了对硅微谐振压力传感器进行快速、高精度的开环特性测试，提出了一种基于多频扫描的频率特性测试方法。通过数字电路将多个不同频率的扫频信号叠加作为驱动信号，以实现在整个测试频带范围内高效且高精度的频率特性测试。搭建了以现场可编程门阵列(FPGA)为核心的多频扫描测试系统，采用4个正弦扫频信号叠加进行测试......
    4. 《谐振式传感器的新进展》PDF+DOC 谐振式传感器是一类应用广泛、发展迅速的传感器。文中介绍了近两年出现的一些新型谐振式传感器和常规谐振式传感器的新进展。主要介绍的有多晶硅、薄膜谐振式传感器等。...
    5. 《半导体传感器的最近发展》PDF+DOC 本文从传感器行业实际需要出发，概括地描述了半导体传感器的研制现状和发展趋势，其中重点介绍了半导体压力传感器的有关结构和工艺程序。...
    6. 《石英晶体谐振式绝对压力传感器研制》PDF+DOC 介绍了一体化石英谐振式压力传感器的研制，采用石英晶体材料制做弹性膜片，用音叉式石英力敏谐振器检测压力，减少了传感器的体积，降低了制造工艺难度。研制的传感器量程为0~120 kPa，中心频率为(40&#177；4)kHz，精度为0.05%。...
    7. 《电感调频式数字传感器的研究与应用》PDF+DOC 本文简述了电感调频式传感器的研究背景、发展状况，详细阐述了这种传感器的结构原理、主要特点及性能指标并扼要说明应用领域和效果等。...
    8. 《以混频器作为信号处理单元的环振式压力传感器》PDF+DOC 提出了一种新的环振式数字压力传感器，它采用做在硅梁上的MOS环形振荡器作为敏感元件，两个反方向变化的环形振荡器的输出信号通过集成在片内的混频器实现频率相减，分析了环形振荡器的频率特性，以及环形振荡器的谐振频率和压力的关系，分析并设计了压力传感器的环形振荡器电路、混频器电路、物理结构以及制作工艺，并制......
    9. 《双谐振器敏感结构谐振式传感器》PDF+DOC 提出一种采用双谐振器敏感结构的谐振式传感器，传感器的敏感元件包括两个结构参数一致的谐振器，传感器的闭环控制系统由两个幅度控制器和一个反相器组成.分析了这样两个谐振器串联的频率特性，指出在谐振器固有频率点上，两个谐振器串联的相移是180.&#176；给出了双谐振器敏感结构谐振式传感器闭环系统的......
    10. 《一种基于谐振原理的微型压力传感器设计》PDF+DOC 设计了一种结构简单的微型石英谐振式压力传感器，该传感器芯片由力学转换元件、谐振敏感元件和支撑元件3部分构成。仿真分析了压力100kPa内传感器输出频率与输入压力的关系，经线性拟合后得出其最大相对非线性误差为0.09%。采用石英深槽湿法腐蚀的方法加工出了芯片3个元件结构，并经镀膜及键合等后工序制作出了......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。