《压力传感器》PDF+DOC

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2. 《多晶硅压力传感器》PDF+DOC 研制一种多晶硅压力传感器．它采用一氧化硅介质膜隔离代替ｐ－ｎ结隔离，提高了工作温度；通过控制掺杂浓度，改善了温度特性．实验表明，该传感器灵敏度高，工作温限高，温度漂移小．...
3. 《型砂压力传感器的研制》PDF+DOC 依据土压传感器的设计原则进行型砂压力传感器的设计，采用全桥圆形箔式应变计，最大限度地利用膜片的应变效果，使其能得到很大的输出信号。研究中除了用静重式标准活塞压力计对传感器进行液压静标定外，还进行了型砂压力标定实验，以便分析传感器与型砂的匹配情况。该传感器成功地用于压实造型和空气冲击造型的砂型应力场测......
4. 《国外压力传感器市场及新产品动向(二)》PDF+DOC 美国Entran公司EPB系列微型压力传感器的不锈钢膜片直径仅0.125″，量程；2～5000psi(0.35～350巴)，过量程：50～800psi，灵敏度：2mV/psi(2psi时)，0.25mV/psi(5000psi时)，2psi时满刻度10mV，5000psi时满刻度125V。...
5. 《微晶硅应变计压力传感器的研制》PDF+DOC 本文介绍了n型微晶硅应变计传感器的研制工作。从应变计的灵敏系数K=-30.5和灵敏系数的温度系数α_k=-0.08%℃~(-1)等主要参数可以看到：用微晶硅制作的应变计，灵敏系数高，温度特性和线性度好，是传感器领域里很有希望的一种新器件。...
6. 《单块集成压阻式压力传感器》PDF+DOC 本文介绍一种由力敏电阻全桥和温度补偿的放大器电路构成的集成压力传感器。通过理论分析得到了(100)矩形硅膜的尺寸以及力敏电阻位置和尺寸的最佳化设计。通过对全电路温度系数的分析计算，找到了最佳的工作条件。该设计已由双极集成电路工艺和各向异性化学腐蚀工艺实现，制成了灵敏度达到1000μV/mmHg的集成......
7. 《压力传感器》PDF+DOC 本文介绍一种结构形式简单、使用方便的流体压力传感器。这种传感器由主体、膜片和容室组成。主体上有一个充液小腔，膜片作为腔的一壁，通过膜片把被测压力传递给腔内的充入液。容室和腔相通，由可变形的薄壁构成。在可变形的薄壁上贴一电阻。腔内的压力变化引起薄壁变形，电阻值也随之改变。电阻值的这一变化即用来测量压力......
8. 《文摘》PDF+DOC 0112 校正温度变化对电感式传感器的误差的影响——Correction for the effect of temperature changes on the...
9. 《纳米多晶硅薄膜压力传感器制作及特性》PDF+DOC 给出一种纳米多晶硅薄膜压力传感器，采用LPCVD法在衬底温度620℃时制备纳米多晶硅薄膜，基于MEMS技术在方形硅膜不同位置制作由4个薄膜厚度为63.0nm的掺硼纳米多晶硅薄膜电阻构成惠斯通电桥结构，实现对外加压力的检测.实验结果表明，当硅膜厚度75μm时，纳米多晶硅薄膜压力传感器在恒压源5.0V供......
10. 《微谐振式压力传感器的差动输出设计与建模》PDF+DOC 提出一种应用于微谐振式压力传感器的敏感结构，其一次敏感元件为矩形硅膜片，膜片的上表面架设有三个两端固支的硅谐振梁，间接感受压力作用，根据膜片上不同位置设置的硅谐振梁的固有频率对于压力变化有不同的变化规律的特点，实现对被测压力的差动输出检测。针对这种结构，建立被测压力与谐振梁固有频率的数学模型。设计实......