作者：常洪龙,蒋庆华,崔金强,李芊,苑伟政,杨芳 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006052460 DOC编号：DOCCGJS2006052469 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 论文基于普通的体硅工艺设计实现了一个单片集成式硅微惯性测量组合.通过对敏感表头的结构优化设计达到异构图形长和宽的较高一致度，从而有效降低刻蚀延迟效应(RIELag)对大面积结构深刻蚀造成的影响.所加工的样片在不到1cm2的硅片面积上同时包含了三个不同轴向的硅微加速度计和三个不同轴向的硅微陀螺，可对载体在笛卡尔坐标系内六个自由度上的运动分量进行测量.针对这六个片上惯性元器件，分别设计了相应的接口电路并进行了测试.测试表明其中的陀螺可达到1deg/s左右的精度，加速度计有33mV/gn的标度因子.论文研究表明这种单片集成式硅微惯性测量组合的实现方法工艺简单，可有效降低惯性测量组合的体积，同时具有进一步提高精度的潜力。

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