作者:卞莲 单位:上海市电子学会;上海市通信学会 出版:《》 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZJS2006030020 DOC编号:DOCDZJS2006030029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS的研究与应用》PDF+DOC2003年第10期 杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天 《微机电系统磁流体压力微传感器》PDF+DOC2007年第04期 徐军民,王瑞金,杨娅君 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC2007年第01期 刘成刚 《微机械加工技术的现状及其发展趋势(上)》PDF+DOC2007年第05期 荣烈润 《互联网+微传感器=10000倍能效》PDF+DOC2016年第01期 《ST:MEMS的下一次发展机会将来自汽车和工业市场》PDF+DOC2017年第11期 单祥茹 《CMOS MEMS技术的现状及展望》PDF+DOC2004年第04期 胡明,崔梦,田斌,窦燕巍 《微电子机械系统及硅微机械加工工艺》PDF+DOC2003年第05期 洪永强,蒋红霞 《MEMS研究与发展前景》PDF+DOC2002年第01期 赵晓峰,温殿忠 《生物微传感器系统技术的发展及应用》PDF+DOC2013年第05期 王晓华,赵倩
  • 被公认为新世纪最有潜力的制造技术之一的MEMS,结合了硅加工制程、X光深刻精密电铸模造成形和精密机械加工等多种微加工技术,可生产出微传感器、微致动器、微系统等组件装置。

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