《源于IC、超越IC 微机电技术迈向标准化》PDF+DOC
作者:卞莲
单位:上海市电子学会;上海市通信学会
出版:《》
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZJS2006030020
DOC编号:DOCDZJS2006030029
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《MEMS的研究与应用》PDF+DOC2003年第10期 杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天
《微机电系统磁流体压力微传感器》PDF+DOC2007年第04期 徐军民,王瑞金,杨娅君
《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC2007年第01期 刘成刚
《微机械加工技术的现状及其发展趋势(上)》PDF+DOC2007年第05期 荣烈润
《互联网+微传感器=10000倍能效》PDF+DOC2016年第01期
《ST:MEMS的下一次发展机会将来自汽车和工业市场》PDF+DOC2017年第11期 单祥茹
《CMOS MEMS技术的现状及展望》PDF+DOC2004年第04期 胡明,崔梦,田斌,窦燕巍
《微电子机械系统及硅微机械加工工艺》PDF+DOC2003年第05期 洪永强,蒋红霞
《MEMS研究与发展前景》PDF+DOC2002年第01期 赵晓峰,温殿忠
《生物微传感器系统技术的发展及应用》PDF+DOC2013年第05期 王晓华,赵倩
被公认为新世纪最有潜力的制造技术之一的MEMS,结合了硅加工制程、X光深刻精密电铸模造成形和精密机械加工等多种微加工技术,可生产出微传感器、微致动器、微系统等组件装置。
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