《MEMS的研究与应用》PDF+DOC
作者:杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天
单位:中国半导体行业协会
出版:《中国集成电路》2003年第10期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJCDI2003100060
DOC编号:DOCJCDI2003100069
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《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC2007年第01期 刘成刚
《微机械加工技术的现状及其发展趋势(上)》PDF+DOC2007年第05期 荣烈润
《微机电系统的研究内容与发展现状》PDF+DOC2001年第06期 李国平,陈子辰
《MEMS器件的计算机辅助设计与模拟》PDF+DOC2001年第04期 孙克豪,钱劲,张立宪,余同希,赵亚溥
《微电子机械系统计算机辅助设计》PDF+DOC1999年第10期 黄庆安,秦明,李伟华,匡一宁,朱珂,章彬,孟为民,鞠瑜华,严先蔚,张昭勇
《微电子机械系统的发展与应用》PDF+DOC2006年第03期 胡雪梅,王宏颖
《论微电子机械系统MEMS》PDF+DOC2004年第03期 鄢云
《微电子机械技术的研究和发展趋势》PDF+DOC2004年第07期 余丹铭,梁利华,许杨剑
《微电子机械系统技术应用研究》PDF+DOC2003年第07期 闫利文
《微机电系统的研究及应用》PDF+DOC2008年第07期 丁群燕,曾鑫
本文介绍了 MEMS 的基本概念、基本特征和理论基础,并结合 MEMS 的发展史和制造技术,对MEMS 的应用领域作了重点阐述,最后对 MEMS 的发展前景和产业化的挑战作了分析。
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