作者:程保罗,李昕欣,王跃林,焦继伟,车录锋,杨恒,戈肖鸿,宋朝晖 单位:中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版:《Journal of Semiconductors》2005年第03期 页数:7页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTX20050300N0 DOC编号:DOCBDTX20050300N9 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《新型侧壁绝缘体硅微机械工艺》PDF+DOC2005年第01期 程保罗,李昕欣,王跃林,焦继伟,车录锋,张鲲,戈肖鸿,宋朝晖 《用于汽车的硅压力和加速度传感器》PDF+DOC1994年第01期 张传忠 《硅微型加速度传感器技术》PDF+DOC2007年第03期 吴瑞,温廷敦 《压阻式硅微型加速度传感器的研制》PDF+DOC2003年第11期 席占稳 《基于MEMS加速度计和陀螺仪的姿态检测系统》PDF+DOC2012年第03期 赵翔,杜普选,李虎,杨浩淼 《一种结构新颖的地震动加速度计》PDF+DOC2007年第03期 任勇峰,王晓丽 《一种硅微机械陀螺制造方法研究》PDF+DOC2015年第03期 赵轶卓 《基于光纤检测技术的扭转敏感微机电系统加速度传感器》PDF+DOC2014年第03期 钟少龙,龙亮,李明,吴亚明 《基于MEMS加速度计的单轴数字倾角传感器》PDF+DOC2013年第05期 刘梅,王冬蕊 《多晶硅纳米膜压阻超薄微梁加速度敏感结构》PDF+DOC2013年第01期 揣荣岩,白羽,吴美乐,代全,靳晓诗
  • 研究了一种带有自检功能的在平面内自限制压阻式加速度传感器.为实现该加速度传感器,提出了一套新的体硅微机械工艺,使用普通硅片取代SOI硅片来制作器件.传感器采用在深槽侧壁(悬臂梁弯曲的表面)制作压阻的方法,灵敏度比在硅表面上制作压阻的传统器件高近一倍.传感器利用集成在内的静电驱动器,实现电自检测功能。

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