《扩散硅压力传感器应力计算建模》PDF+DOC
作者:李进军,石成英
单位:北京信息科技大学
出版:《传感器世界》2004年第01期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGSJ2004010070
DOC编号:DOCCGSJ2004010079
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,李剑
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本文依据弹性力学厚板原理建立扩散硅压力传感器的应力计算模型,根据电桥原理得到应力与其输出电压之间的关系。计算结果与标定值比较,吻合良好。
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