《环境振动测量电容式加速度传感器设计》PDF+DOC

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4. 《基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的设计》PDF+DOC 给出了一种基于MEMS技术制作的微电容式加速度传感器的结构及工艺。为了准确地把握这种微电容式加速度传感器的力学和电学特性，仔细地建立了它的力学模型。在此基础上，详细分析了它的动态特性———模态。并用有限元的方法分析和计算了微电容式加速度传感器的加速度与电容信号的非线性输入输出关系，并结合实测参数验证......
5. 《微机械电容式加速度传感器仿真分析》PDF+DOC 微机械加速度传感器的检测模态特征频率和有效量程是进行传感器设计时必须要考虑的2个重要参数。文中在对传感器检测模态频率进行有限元分析的基础上，利用电路仿真软件Multisim对传感器等效电路进行了谐振频率分析，并根据线性度指标求得了传感器的有效量程，为微机械加速度传感器的设计提供了参考。...
6. 《微机械电容式加速度传感器的设计与加工工艺》PDF+DOC 对定齿偏置电容式加速度传感器进行了参数设计和优化。通过有限元仿真分析软件计算出其特征频率与典型振动模态，结果表明：传感器具有较大的频率响应范围，检测模态特征频率远小于其他模态，有效减小了交叉干扰。最后，给出了基于MEMS技术的电容式加速度传感器的加工工艺。...
7. 《硅微电容式二维加速度传感器的加工与测试(英文)》PDF+DOC 设计了一种基于体硅加工技术的单敏感质量元差分电容式二维加速度传感器，并采用硅-玻璃静电键合、ICP工艺释放等技术完成了二维加速度传感器的加工。测试结果表明：该二维加速度传感器两个检测方向上的灵敏度基本一致，线性度较好，交叉干扰较小。X、Y方向的灵敏度分别为58.3 mV/gn、55.6 mV/gn；......
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