作者：王胜强,李冬玲,尚正国,贺学锋 单位：清华大学 出版：《实验技术与管理》2010年第11期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSYJL2010110070 DOC编号：DOCSYJL2010110079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微加工超净实验室是微机电系统(micro-electro-mechanical systems，MEMS)研究的基础条件。超净实验室涉及多种大型微加工设备和相应的纯水、高纯气体、空气净化及空调等辅助系统，其管理显得十分重要。结合重庆大学微机电系统加工实验室，对其现场管理、保障系统运行和设备管理、节能和高效利用、设计和技术管理等进行了简单介绍，同时对MEMS微加工工艺开发与技术管理进行了初步探索。

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