作者：彭述成,温志渝,温中泉,潘银松,李霞 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2003年第Z1期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2003Z10860 DOC编号：DOCBDTQ2003Z10869 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《真空微电子传感器研究及进展》PDF+DOC2001年第04期 夏善红 《真空微电子加速度传感器闭环控制模型仿真与实现》PDF+DOC2012年第02期 范金焰,温志渝,陈李,温中泉,刘海涛 《力平衡式真空微电子加速度传感器的机电耦合特性(英文)》PDF+DOC2009年第06期 杨银川,李东玲,尚正国 《真空微电子磁敏传感器的研究》PDF+DOC1994年第03期 王海笑,朱长纯 《真空微电子压力传感器的研制》PDF+DOC2004年第06期 温志渝,温中泉,徐世六,刘玉奎,张正元,陈刚,杨国渝 《硅微加速度传感器的对称梁岛结构设计》PDF+DOC2003年第01期 陈光焱,苏伟,何晓平 《硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试》PDF+DOC2002年第01期 陈绍凤,夏善红 《阴极-敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究》PDF+DOC2001年第01期 陶新昕,夏善红,苏杰,陈绍凤 《聚酰亚胺多模干涉器结构的加速度传感器》PDF+DOC2010年第02期 禹忠,蒋庄德,郑建邦,王海容 《静电吸合对力平衡式隧道加速度传感器的影响》PDF+DOC2008年第04期 贺学锋,温志渝,温中泉,王晓兰

    • 论述了真空微电子加速度传感器的结构及工作原理 ，应用有限元方法对加速度传感器进行了静力学和动力学分析 ，拟合出悬臂梁的长宽厚与质量块最大位移量的关系曲线和谐振频率的关系曲线以及质量块受迫振动的谐响应曲线。这些分析为此类加速度传感器的设计提供了理论依据

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