作者：陈勇华 单位：南京电子技术研究所 出版：《电子机械工程》2011年第03期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZJX2011030020 DOC编号：DOCDZJX2011030029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机电系统(MEMS)的应用》PDF+DOC1999年第01期 徐毓龙,徐玉成 《微机电系统的研究内容与发展现状》PDF+DOC2001年第06期 李国平,陈子辰 《跨世纪的新技术——微机电系统(MEMS)》PDF+DOC1999年第04期 张兴,郝一龙,李志宏,王阳元 《微机电系统的构成及其关键技术》PDF+DOC2005年第01期 杨红军,李刚炎 《CMOS MEMS技术的现状及展望》PDF+DOC2004年第04期 胡明,崔梦,田斌,窦燕巍 《微机电系统技术进展》PDF+DOC2003年第05期 张西慧,梁春广 《关于微机电系统研究》PDF+DOC2003年第02期 温诗铸 《微机电系统(MEMS)技术及其应用》PDF+DOC2002年第06期 魏强 《MEMS研究与发展前景》PDF+DOC2002年第01期 赵晓峰,温殿忠 《基于MEMS技术的汽车传感器研究进展》PDF+DOC2007年第04期 吕良,邓中亮,刘玉德,辛洪兵

    • 微机电系统(MEMS)是利用集成电路制造技术和微架构技术把微结构、微传感器、微执行器、控制处理电路甚至接口、通信和电源等制造在一块或多块芯片上的微型集成系统。MEMS技术是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿技术。文中介绍了MEMS的范畴、分类、特点，综述了MEMS的发展历程和各国MEMS技术研发动态及产业现状，分析了MEMS技术目前存在的主要问题及关键技术瓶颈，探讨了MEMS技术的发展趋势及应用热点，对开展MEMS技术研究提供了有益的启示。

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