《悬臂梁式硅微加速度传感器的设计仿真》PDF+DOC
作者:单光宝,魏海龙,刘佑宝
单位:航天科技集团公司九院七七一所
出版:《微电子学与计算机》2003年第03期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFWXYJ2003030170
DOC编号:DOCWXYJ2003030179
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文章利用ANSYS软件对悬臂梁式硅微加速度传感器敏感芯片进行了设计仿真,给出了一种能满足:量程50g,精度10-3要求的硅微加速度传感器的结构,并对加工时可能引入的工艺误差所带来的影响进行了讨论。
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