作者：周嘉,黎坡,黄宜平,张松,周峰,杨芃原,鲍敏航 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2003年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2003050030 DOC编号：DOCYDSG2003050039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了压电谐振式微悬臂梁的设计、制作方法和作为质量传感器的工作原理，及其在空气质量检测上的应用。实验结果验证了设计方法正确，制作工艺可行。在特定敏感层的作用下，该传感器对氟利昂气体在500&#215；10~(-6)范围内的响应呈指数衰减，在100&#215；10~(-6)范围内呈线性响应，灵敏度达-0.002 4％&#215；10~6，最小可测质量为3.5&#215；10~(-9)g。

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