作者：高伟,董瑛,尤政 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2008年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2008110030 DOC编号：DOCCGQJ2008110039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 微机械谐振式传感器已经成为微型机电系统(MEMS)领域的研究热点。讨论了微悬臂梁谐振式气体传感器的工作原理，介绍微悬臂梁表面修饰的关键技术、主要方法和基于微悬臂梁的谐振式气体传感器领域的研究状况以及近五年以来该领域的研究进展，并对基于微悬臂梁的谐振式气体传感器的发展方向和应用前景做了展望。

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