作者：刘文超,丁雪梅 单位：哈尔滨工业大学 出版：《哈尔滨工业大学学报》2002年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHEBX2002050300 DOC编号：DOCHEBX2002050309 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 调幅式电容传感器在实际应用中存在稳定性差、漂移大、线性度差等问题 .为解决这一综合技术障碍 ，采用直接数字合成和数字检波的方法 ，将传统电路中模拟的环节数字化 ，研制出了具有极高幅值和频率稳定性的载波信号 ，保证了检波过程中测量通道和参考通道良好的相位一致性 .运用HP5 5 2 9双频激光干涉仪对改进后的调幅式电容位移传感器进行长期稳定性实验及标定 ，实验结果表明 ：在 30 μm量程范围内 ，分辨力为 2nm、稳定性为 6nm/ 30min、线性度为 0 .16 % ，传感器性能良好 .可见 ，基于数字技术的调幅式电容位移传感器有效地改善了上述各项性能指标 ，实现了传感器的高精度、高稳定性 。

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