《调幅式电容位移传感器开关检波电路设计》PDF+DOC
作者：冯佳,李佩玥,徐立松,尹志生,隋永新
单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版：《传感器与微系统》2015年第05期
页数：4页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFCGQJ2015050250
DOC编号：DOCCGQJ2015050259
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针对调幅式电容位移传感器乘法器检波存在的速度慢、功耗大和热噪声大问题，设计了一种基于模拟开关的全波检波电路。首先，对开关全波检波和开关半波检波原理进行分析，根据分析结果选择了全波检波方法。在此基础上，完成开关全波检波电路设计与测量系统其它部分设计。最后，利用八位半数字表3458A对检波电路与测量系统性能指标进行测试。测试结果表明：检波电路可以实现0.1 m V的分辨率，测量系统在150~650μm范围内分辨率达30 nm，系统示值稳定性0.1 m V/30 min，电容测量系统最大测量偏差为20 nm。该测量系统满足电容测微系统稳定性好、准确性高的要求。
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