作者：焦正,李民强,刘锦淮 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2002年第03期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2002030020 DOC编号：DOCYBJS2002030029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研究了一种新型真空微电子氢气传感器 ，其原理为气体在高电压激发下发射出与其吸收光谱相同的特征光谱。用微机械加工方法在硅片上加工出密封的充满H2 的微气室 ，在一定电压下阴极发射电子 ，气体分子被电离 ，发射特征光谱。当外界H2 存在时 ，会吸收特征光谱 ，这一吸收具有高选择性。微气室中微机械加工出纳米尺寸冷阴极硅尖端 ，在低电压下就可以产生场发射。检测器可以使用普通的光电二极管。

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