作者：陈洁 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2012年第12期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2012120040 DOC编号：DOCCGJS2012120049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研究了两种结构的谐振式磁场传感器，检测在磁场作用下梁的振动幅度，来实现磁场的测量。首先介绍了传感器的工作原理，并用振动理论对传感器的受力及响应进行了分析，接着用有限元软件建立结构模型，对振动幅度进行了仿真。该MEMS磁场传感器采用标准的CMOS工艺加上后处理来实现。最后用多普勒仪对传感器的振动幅度进行测试，实验结果与理论分析一致，并对两种传感器性能进行比较。所研究的两种传感器结构简单，测试方便，可用于对mT级的磁场进行测试。

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