作者：李成章,黄庆安 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2007年第Z1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2007Z10870 DOC编号：DOCBDTQ2007Z10879 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 给出了一种新型梳状微机械谐振式磁场传感器的设计。采用静电激励和静电检测，通过罗伦兹力的反馈将磁场的大小转变为频率输出。对结构模型进行简化，推导出了本征频率的计算公式并进行了ANSYS模拟。通过尺寸的设计，该传感器的灵敏度可以达到258kHz/T。

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