作者:陈洁,秦明,黄庆安 单位:东南大学 出版:《东南大学学报(自然科学版)》2011年第05期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDNDX2011050080 DOC编号:DOCDNDX2011050089 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《两种结构MEMS磁场传感器的研究》PDF+DOC2012年第12期 陈洁 《MEMS磁场传感器的研究进展》PDF+DOC2006年第04期 陈洁,黄庆安,秦明 《MEMS加速度计的振动校正》PDF+DOC2017年第07期 Long Pham,Anthony DeSimone 《一种微型隧道效应磁强计的设计》PDF+DOC2000年第08期 朱俊华,丁衡高,叶雄英 《高磁阻材料在磁场传感中的应用》PDF+DOC1999年第06期 Carl H.Smith ,Robert W.Schneider ,本刊编辑部 《平面扭转式强磁场测量微传感器的设计与分析》PDF+DOC2020年第10期 王月媖,许高斌,王超超,陈兴,马渊明 《磁场测量方法的发展及应用》PDF+DOC2005年第03期 潘启军,马伟明,赵治华,康军 《交变磁场测量系统中磁传感器的设计》PDF+DOC2003年第12期 张玉华,罗飞路,白奉天 《基于MEMS传感器的虚拟现实参观系统》PDF+DOC2012年第03期 徐迅,刘玉生 《磁传感器在电磁探测中的应用》PDF+DOC 弓彦伟,刘容,郝鹏鹏
  • 以U型梁为主要结构设计了一种新型的洛伦兹力驱动的磁场传感器,检测在磁场中作切割磁力线运动的金属线上的感生电压,实现磁场测量.首先介绍了传感器的工作原理,并用振动理论对传感器的受力及响应进行了分析,接着用有限元软件建立结构模型并对其振动模态和频率进行了仿真.该MEMS磁场传感器采用标准的CMOS工艺加上后处理来实现.最后用多普勒仪对传感器的频率和振动幅度进行测试,并对传感器的感生电动势与磁场、电流的关系进行了测试.实验结果与理论分析一致,该传感器的灵敏度为14 mV/mT.该传感器结构简单,测试方便,可用于对mT级的磁场进行测试。

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