作者：伞海生,宋子军,王翔,赵燕立,余煜玺 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2012年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2012030150 DOC编号：DOCGXJM2012030159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了消除潮湿、酸碱、静电颗粒等恶劣环境对压力传感器压敏电阻的影响，提出了一种新型结构的压阻式压力传感器。该传感器将压敏电阻置于应力薄膜的下表面并通过阳极键合技术密封在真空压力腔中，从而减少了外界环境对压敏电阻的影响。介绍了此种压力传感器的工作原理，使用ANSYS软件并结合有限元方法模拟了压敏薄膜在压力作用下的应力分布情况。最后，利用微机电系统(MEMS)技术成功制作出了尺寸为1.5mm&#215；1.5mm&#215；500μm的压阻式压力传感器。用压力检测平台对该压力传感器进行了测试，结果表明，在25～125℃，其线性度小于2.73%，灵敏度约为20mV/V-MPa，满足现代工业使用要求。

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