作者:杨翰林,陈达,刘一剑,沈勇,张亚非 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2015年第08期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2015080240 DOC编号:DOCCGQJ2015080249 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于薄膜体声波谐振器的高灵敏度质量传感器》PDF+DOC2008年第02期 马绍宇,韩雁,董树荣,李侃,周海峰 《一种基于薄膜体声波谐振器的高灵敏度质量传感器》PDF+DOC2007年第06期 马绍宇,韩雁,董树荣,李侃,周海峰 《氧化锌系列薄膜体声波谐振器研制与表征》PDF+DOC2016年第11期 段力,卢学良,史丽云,王英,付学成,王丹凤,汪军,沈勇,翁昊天,张亚非 《掺镁ZnO基薄膜体声波谐振器的制备和性能研究》PDF+DOC2017年第01期 卢学良,段力,刘一剑,汪军,张亚非 《固贴式薄膜体声波传感器的仿真分析》PDF+DOC2019年第01期 吴永盛,苏淑靖,翟成瑞,马晓鑫,袁财源 《密封空气型FBAR温度传感器》PDF+DOC2012年第05期 丁扣宝,刘世洁,何兴理 《一种提高薄膜体声波谐振器质量分辨率的主动控制方法》PDF+DOC2011年第06期 贺学锋,刘兴,印显方,温志渝,陈可万 《Mg掺杂对ZnO基体声波谐振器性能的影响》PDF+DOC2020年第09期 桂丹,郑丹,何琼 《基于等离子体聚合膜的化学/生物传感技术研究进展》PDF+DOC2001年第04期 吴朝阳,王桦,沈国励,俞汝勤 《高灵敏度电容式生物传感器的设计》PDF+DOC2008年第08期 程涛,庄洁,阎锡蕴,韩立
  • 研制了一种基于薄膜体声波谐振器(FBAR)的生物免疫球蛋白传感器,该FBAR采用Al N作为压电层,3对Ti/W金属层作为布拉格声学反射层,工作频率为2.047 GHz,回波损耗为-32 d B。利用自组装膜法修饰顶部金电极敏感区域。测试了免疫球蛋白G抗体和抗原的特异性结合前后传感器的指标变化。结果得到传感器的Q值和灵敏度分别达到846,3.38 k Hz·cm2/ng,远高于广泛使用的石英晶体微天平(QCM),具有广阔的应用前景。

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。