作者：王德波 单位：中国科学院数学与系统科学研究院 出版：《》 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSSJS2015060160 DOC编号：DOCSSJS2015060169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了克服传统热电式功率传感的低过载水平和实现与GaAs MMIC工艺相兼容无线功率探测，提出了一种新型的单片无线接收式MEMS毫米波功率传感器，并对其三个组成部分的设计方法进行了研究.对于功率接收部分：共面波导馈线天线，根据微带天线的设计理论，先计算出符合设计要求的尺寸，再通过仿真软件HFSS优化得到最优尺寸；对于抗过载部分：MEMS悬臂梁，采用平板电容模型来设计，再通过有限元分析软件ANSYS来做验证；对于功率检测部分，采用背面刻蚀技术来提高传感器的热传输效率和灵敏度.共面波导馈线天线的尺寸：辐射面长1840μm，宽820μm，地线宽560μm.理论计算得到的MEMS悬臂梁的下拉电压为13.05V，ANSYS仿真的下拉电压为12V，两者相对吻合.在衬底没有减薄时，负载电阻的最高温度为17.072K，热电堆的冷热两端的温差为7.588K.在减薄时，负载电阻的最高温度为32.089K，热电堆的冷热两端的温差为17.827K。

    📙 相关资料

    1. 《双通道MEMS微波功率传感器的悬臂梁设计》PDF+DOC 为实现热电式MEMS微波功率传感器与电容式MEMS微波功率传感器的兼容，得到一种性能优良的双通道MEMS微波功率传感器，需要对MEMS悬臂梁的匹配特性进行分析与设计。根据MEMS悬臂梁的一维集中参数模型，分析了MEMS悬臂梁的吸合电压，研究了MEMS悬臂梁的位移与电容的变化关系以及MEMS悬臂梁的谐......
    2. 《热电式MEMS微波功率传感器的热学特性研究》PDF+DOC 热电转换效率直接影响热电式MEMS微波功率传感器的性能。着重对衬底掏空结构的热电式微波功率传感器进行了研究。将热电式微波功率传感器分成三个区域，建立了傅里叶模型，研究背面刻蚀的长度与厚度对热电堆热端温度的影响，发现热电堆两端温差与背面刻蚀的长度、厚度成正比。利用有限元仿真软件ANSYS，对不同刻蚀长......
    3. 《面向5G的MEMS跷跷板结构功率传感器》PDF+DOC 为了解决5G功率传感器灵敏度不高的问题，创新性地提出一种可面向5G应用的MEMS跷跷板结构功率传感器。S参数测试结果表明，在1 GHz—10 GHz的频段内传感器的回波损耗小于-12.5 dB，插入损耗小于1.5 dB。功率响应测试表明，内部电容的灵敏度接近69.2aF/mW@1GHz、71.5aF......
    4. 《一种新型的在线式微波功率传感器》PDF+DOC 提出了一种基于MEMS技术的在线式微波功率传感器结构，并对该结构进行了理论分析、设计、制作和测量.该结构通过测量由MEMS膜耦合出的一小部分微波功率实现功率的测量.该结构制作工艺与GaAs MMIC工艺完全兼容.测量结果显示，在12GHz频率以内，微波功率传感器的反射系数小于-15dB，插入损耗小于......
    5. 《RF/微波功率传感器校准方法的探讨》PDF+DOC 本文在介绍传统功率传感器的工作原理及其特点的基础上，重点论述采用了新技术的功率传感器的工作原理、结构以及新技术带来的诸多优点。针对新型的功率传感器，结合其特点对其校准方法进行了探讨。...
    6. 《传感器和执行器的未来》PDF+DOC 本文评述微传感器和微执行器的发展。...
    7. 《间接加热终端式MEMS微波功率传感器的温度模拟》PDF+DOC 在提出间接加热终端式MEMS微波功率传感器结构和工艺的基础上，用Coventorware软件和ANSYS软件对其温度分布进行了模拟，根据热电堆的放置位置不同，分别对热电堆处于终端电阻的下方(结构A)、上方(结构B)和外侧(结构C)三种结构进行了模拟和比较，最后采用了热电堆处于终端电阻下方的结构，热电......
    8. 《有限元分析软件在封装结构变形影响中的应用》PDF+DOC 针对所见文献未给出封装结构变形对压阻式加速度计影响值，引入有限元分析软件Coventor Ware的Package模块进行定量分析。利用有限元分析软件Coventor Ware分析压阻式加速度计在不同温度下和受到不同方向冲击时，封装结构变形对其性能的影响。分析结果表明，温度和冲击作用于压阻式传感器封......
    9. 《基于硅悬臂梁谐振器的新型气体传感器(英文)》PDF+DOC 研究了一种基于硅悬臂梁谐振器的新型气体传感器.该传感器在敏感环境中，可同时获得敏感膜电导率和质量变化，测量被测气体分子的荷质比，具有高灵敏度和高选择性.根据这一原理，针对气体传感器的需求，设计了硅悬臂梁谐振器化学传感器结构，进行了仿真优化，并采用MEMS表面牺牲层工艺制备该器件，激光频率仪测量验证了......
    10. 《基于MEMS技术的对称式微波功率传感器的设计研究》PDF+DOC 近年来，随着微机械加工技术的飞速发展，被广泛应用在微波领域中。微波功率在微波信号的产生以及传输等各个环节的测量是必不可少的，而微波功率传感器是最常见的测量工具，由于传统的微波功率传感器容易造成误差。因此，提出了一种基于MEMS技术的对称式微波功率传感器，本文对此设计进行重点探讨。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。