作者：钱文轩,易真翔 单位：中国电子科技集团公司第七研究所 出版：《移动通信》2020年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDTX2020030190 DOC编号：DOCYDTX2020030199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种新型的在线式微波功率传感器》PDF+DOC2007年第07期 韩磊,黄庆安,廖小平 《片上加热电容式湿度传感器研究》PDF+DOC2015年第03期 陈文浩,黄见秋 《无线接收式MEMS毫米波功率传感器的设计》PDF+DOC 王德波 《一种开路短截线结构的耦合式微波功率传感器》PDF+DOC2011年第03期 韩磊 《基于MEMS的悬板式风速传感器的研制》PDF+DOC2009年第05期 韩有君,赵湛,王晓蕾,杜利东,方震 《一种小量程风速风向传感器的设计》PDF+DOC2009年第01期 韩有君,王晓蕾,施健康,慕新仓 《梳齿的不平行对电容式微机械传感器阶跃信号响应的影响》PDF+DOC2005年第03期 董林玺,孙玲玲,车录锋,王跃林 《MEMS三维微力探针传感器设计及性能测试》PDF+DOC2011年第03期 王伟忠,赵玉龙,林启敬 《MEMS微型热敏传感器数值模拟》PDF+DOC2011年第12期 王竹萍,丁英涛,刘汝卿 《一种新型微机械谐振式压力传感器研究》PDF+DOC2009年第06期 史晓晶,陈德勇,王军波,毋正伟,刘磊

    • 为了解决5G功率传感器灵敏度不高的问题，创新性地提出一种可面向5G应用的MEMS跷跷板结构功率传感器。S参数测试结果表明，在1 GHz—10 GHz的频段内传感器的回波损耗小于-12.5 dB，插入损耗小于1.5 dB。功率响应测试表明，内部电容的灵敏度接近69.2aF/mW@1GHz、71.5aF/mW@5GHz和66.3aF/mW@10GHz，外部电容的灵敏度约为35.2aF/mW@1GHz、33.0aF/mW@5GHz和27.6aF/mW@10GHz，表明该跷跷板结构设计提高了传感器的灵敏度。

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