作者：王竹萍,丁英涛,刘汝卿 单位：北京理工大学 出版：《北京理工大学学报》2011年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBJLG2011120110 DOC编号：DOCBJLG2011120119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 借助计算流体动力学软件Fluent，采用有限体积法、非定常N-S方程、Realizable k-ε湍流模型及无滑移壁面边界条件对微电子机械系统(MEMS)微型热敏传感器进行三维数值模拟.全面地分析了传感器绝缘层材料、空腔内介质材料以及结构尺寸参数对其灵敏度的影响情况，探讨了提高传感器灵敏度的方法.同时，设计了一款高灵敏度的MEMS微型热敏传感器.数值模拟结果发现，采用具有较低热导率的结构材料及工作气体，隔热效果最佳；合理优化传感器尺寸参数有助于获得较高的灵敏度.该结果对微型热敏传感器的优化设计和实际加工、制造提供了依据。

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