作者：陈勤,范树新,张维波 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2007年第08期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2007080030 DOC编号：DOCCGQJ2007080039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 随着MEMS传感器在各个领域的广泛应用，传感器领域的标准化工作思路和技术路线发生了变化。论述了目前国内外MEMS传感器标准的现状，并就国内外MEMS传感器标准体系的发展过程、特点、标准体系存在的问题、与现有半导体标准的关系进行了分析探讨，同时，对我国MEMS传感器标准的发展对策提出了建议。

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