作者：刘大震,闫卫平,郭吉洪,杜立群 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2003年第Z1期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2003Z10950 DOC编号：DOCBDTQ2003Z10959 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在PCR生物芯片的制作过程中 ，微反应腔制作是关键部分之一。本文利用硅基微机械加工工艺 ，分别采用湿法化学腐蚀、干法等离子体刻蚀及两者相结合的方法进行了微反应腔的制作。通过扫描电镜分析 ，证明干法和湿法腐蚀相结合的制作工艺能加工出较理想的微反应腔体。本文还利用ANSYS软件对微反应腔进行温度分布和热特性分析。

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