作者：赵正平 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2015年第01期 页数：13页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2015010010 DOC编号：DOCBDTQ2015010019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于MEMS传感器的两轴姿态调整系统设计与试验》PDF+DOC2015年第S1期 马超,郑永军,谭彧,Yubin Lan,王书茂 《MEMS惯性传感器研究现状与发展趋势》PDF+DOC2019年第06期 李晓阳,王伟魁,汪守利,彭泳卿,金小锋 《MEMS技术发展及应用优势》PDF+DOC2011年第05期 王勇 《MEMS惯性测量单元的精确定标技术》PDF+DOC2011年第06期 王化会,袁冬莉 《基于MEMS惯性传感器的两轮自平衡小车设计》PDF+DOC2016年第Z1期 闫俊岭,张郭 《基于改进灰色模型的MEMS陀螺仪零偏温度补偿》PDF+DOC2015年第06期 黄河明,向高林,刘宇,季廷洪,刘琼,蒋太保 《基于MEMS的海洋漂流浮标运动姿态测量系统设计》PDF+DOC2019年第10期 余博嵩,何姣,曹晓钟 《MEMS传感器整合解决方案》PDF+DOC2011年第11期 Jay Esfandyari,Roberto De Nuccio,Gang Xu 《MEMS惯性传感器技术的误差补偿及可靠性研究》PDF+DOC2014年第03期 李瑞养,韩旭,郑磊 《基于MEMS传感器的速度型地震计技术研究》PDF+DOC2013年第01期 胡星星,滕云田,谢凡,王喜珍,李彩华,王晓美

    • MEMS技术经过20多年的发展已进入移动网络时代的发展阶段。从该发展阶段的典型MEMS器件入手，能够从多种MEMS器件的发展中提取出MEMS发展技术路线。介绍了包含MEMS加速度计、MEMS陀螺仪、MEMS惯性测量单元(IMU)、MEMS麦克风和RF MEMS等新发展阶段的典型MEMS器件近两年的新进展，同时介绍了在设计、工艺、新原理、新材料和新电路结构等方面新的进步或创新，并评估了MEMS技术发展的趋势。同时也对MEMS的集成创新，即可穿戴传感技术的近期发展，按照其获取信息的分类(活动、生理和环境)进行了综述。

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