《注氧隔离技术SOI晶圆材料高温压阻效应》PDF+DOC

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2. 《基于MEMS工艺的SOI高温压力传感器设计》PDF+DOC 利用MEMS(微机电系统)工艺中的扩散，刻蚀，氧化，金属溅射等工艺制备出SOI高温压力敏感芯片，并通过静电键合工艺在SOI芯片背面和玻璃间形成真空参考腔，最后通过引线键合工艺完成敏感芯片与外部设备的电气连接。对封装的敏感芯片进行高温下的加压测试，高温压力测试结果表明，在21℃(常温)至300℃的温度......
3. 《高温压力传感器的新进展——金刚石微压力传感器》PDF+DOC 工业上的某些场合要求压力传感器能够在高温、高辐射以及恶劣的环境下正常工作。金刚石的某些特殊性质 (如化学上的惰性、高的杨氏模量 )以及极大的压阻效应使其成为制作压阻型压力传感器的极佳材料。本文对利用多晶金刚石薄膜制造的新型高温、高灵敏度的压阻型金刚石微压力传感器 ，包括其原理、结构及其制造技术作了详......
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7. 《基于AIN绝缘的多晶硅高温压力传感器设计》PDF+DOC 探讨了一种多晶硅高温压力传感器的设计方法，采用AlN作硅衬底和多晶硅力敏电阻条之间的电绝缘层，由于无p-n结，力敏电阻无反向漏电，使制作的压力传感器特性好。利用多晶硅材料在高温条件下能够表现出良好的压阻特性，考虑其纵横向压阻效应的不同，作了理论分析，在此基础上制作力敏电阻条。利用有限元分析方法，借助......
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10. 《原子力显微镜悬臂梁力传感器的设计与优化》PDF+DOC 本文介绍了压阻效应以及压阻式AFM悬臂梁力传感器的工作原理，并从悬臂梁与压阻尺寸和掺杂浓度等方面提出了改善悬臂梁传感器性能的设计与优化方法。...