作者:黄晓东,张筱朵,王斌,秦明,黄庆安 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《微纳电子技术》2007年第Z1期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTQ2007Z11520 DOC编号:DOCBDTQ2007Z11529 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《电容式MEMS传感器的PSPICE仿真模型研究》PDF+DOC2010年第12期 龙侃,罗超,郭斌 《小量程MEMS电容式压力传感器的研究与发展》PDF+DOC 张瑞,梁庭,熊继军,刘雨涛,王心心,王涛龙 《谐振式MEMS磁传感器接口电路设计》PDF+DOC2016年第11期 高华磊,徐德辉,刘松,马颖蕾,熊斌 《单片集成MEMS技术》PDF+DOC2005年第03期 江建明,娄利飞,汪家友,杨银堂 《MEMS高温电容式压力传感器的研制与测试》PDF+DOC2004年第11期 徐肯,王绍清,冯勇建 《基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的设计》PDF+DOC2003年第08期 程未,曾晓鹭,卞剑涛,冯勇建 《地震勘探用三维MEMS加速度传感器的研究》PDF+DOC2012年第04期 谌贵辉,刘建生,李礼,杨帆 《MEMS传感器随机误差分析》PDF+DOC2012年第03期 于丽杰,高宗余 《基于MEMS的高灵敏度电容式低频传声器》PDF+DOC2009年第05期 宫铭举,何庆,汤亮,马军,乔东海,邓越,王孟姣 《一种单片集成电容式压力传感器的设计、制造和测试》PDF+DOC2008年第04期 黄晓东,王斌,秦明,黄庆安
  • 介绍了一种单片集成电容式压力传感器接口电路,该电路基于电容-频率转化原理,并通过差频消除了温度变化和工艺波动对电路性能的影响。使用Pspice对接口电路的误差特性进行了分析,并依据仿真结果确定了电路的相关参数。最后给出电路的测试结果,测试结果与仿真结果一致,在80~110kPa量程内,接口电路的分辨率为3.77Hz/hPa。

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