作者：李华,唐飞,王晓浩,张亮,杨吉,王帆,徐初隆,吝涛,丁力 单位：中国化学会;中国科学院长春应用化学研究所 出版：《》 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFFXHX2010110300 DOC编号：DOCFXHX2010110309 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于微机电系统技术(Micro electro mechanical system，MEMS)，研制了微型高场非对称波形离子迁移谱(High-field asymmetric waveform ion mobility spectrometry，FAIMS)传感器芯片。芯片采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀和两次硅-玻璃键合工艺加工，尺寸为18.8mm&#215；12.4mm&#215；1.2mm，其中迁移区尺寸为10mm&#215；5mm&#215；0.2mm。设计了高场非对称方波电源，可输出最大频率2MHz，电压峰-峰值1000V，占空比20%～50%连续可调的方波射频电压。以乙醇为实验样品，分析了方波射频电压幅值对FAIMS传感器芯片性能的影响。实验表明，随着电压幅值的增加，FAIMS分辨率提高，灵敏度下降，补偿电压绝对值增大，且芯片对乙醇的检出限可达8.9mg/m3。

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